Flatness detection method of splicing detector based on channel spectral dispersion
ZHAO Hong-chao, ZHANG Xiao-qian, Qichang An · Chinese Optics · 2024
受探测器材料和技术的限制，大尺寸探测器需要进行拼接和集成才能有效成像。对于拼接式大靶面探测器，拼接平整度直接决定了能量利用率和图像清晰度。同时，由于拼接探测器的调整范围有限，还需要对基准构建进行约束。针对上述问题，本文提出了一种基于通道光谱色散的新型探测器平整度检测方法。通过测量共面调整的干涉条纹，将调整后的残差控制在300 nm以内，验证了整个技术的可行性，并为下一代大口径天文巡天设备和大型目标探测器的发展提供了重要的技术支持。