Effect of organic solvent on the inductively coupled plasma impedance
Tetsumasa Ito, Hiroshi Kawaguchi, Atsushi Mizuike · BUNSEKI KAGAKU · 1979
発光分光分析用光源としての誘導結合高周波プラズマにおいて有機溶媒として水に可溶なエタノールを用いて,エタノール濃度を変化させたときのスペクトル線強度の変化,高さ方向の分布及びマッチング回路側からみたプラズマインピーダンスの測定を行った.マッチング回路側からみたプラズマインピーダンスは有機溶媒を導入して完全にマッチングを取った後プラズマを消してマッチング回路定数を測定し計算により求めた.この値はプラズマ抵抗の増減関係と逆である.プラズマ抵抗はエタノール濃度を増すと増加し,高周波電力を増すと減少する.エタノール濃度によるプラズマ抵抗の変化は高周波電力を増すと小さくなり,スペクトル線強度の変化と一致する.又,有機溶媒を導入したときマッチングの調節が難しくなるのは,プラズマ抵抗が増加する結果同調曲線が急になるためと考えられる.有機溶媒試料をプラズマに導入する際の適切なマッチング手法が見いだされた.