Thermal compensation of the measuring channel of the pressure sensor on the basis of semi-conductor integrated transducers
А. Б. Борзов, Konstantin P. Likhoedenko, Viktor Cygankov, Andrey Igorevich Vlasov, Yury Tinyakov, Konstantin Andreev, Tatiana Civinskaya · Science and Education of the Bauman MSTU · 2012
Одним из основных параметров, приводящим к возможным отказам работы и высокой погрешности измерений датчиков давления, является большой градиент температур.Номенклатура датчиков давления на 95 % состоит из датчиков на основе МЭМС кремниевых тензорезистивных интегральных преобразователей давления (ИПД).Разработка технических решений для снижения температурных погрешностей измерений и вероятности отказа работы датчиков, является актуальной научной и технической задачей.Основная цель работы заключается в разработке методов термокомпенсации измерительного канала датчиков давления на основе МЭМС тензорезистивных ИПД.Обзор состояния вопроса.Известны два основных метода снижения температурных погрешностей датчиков.Первый основан на уменьшении влияния температуры на передаточную функцию датчика с помощью конструктивно-технологических и схемотехнических решений.Второй заключается в различных видах коррекции выходного сигнала датчика вспомогательными измерениями температуры или введением расчетных поправок, получаемых либо в процессе измерения, либо на основе априорно созданных моделей влияния температуры на выходной сигнал [1-5].Оба метода активно используются отечественными и зарубежными производителями.Развитие и совершенствование этих методов является задачей нескольких десятков зарубежных и отечественных организаций, работающих в различных областях промышленности, авиации и космонавтике.