KARAKTERISASI SENSOR GAS BERBASIS SURFACE ACOUSTIC WAVE TERLAPIS POLIMER
Dr.Muhammad Rivai, Mt · 2011
Perangkat berbasis Survace Acoustic Wave (SAW) menawarkan beragam fitur menarik untuk dimanfaatkan sebagai sensor uap kimia. Perangkat tersebut dibuat pada substrat piezoelektrik dengan penambahan lapisan penyerap uap-uap organik pada alur propagasinya. Serapan tersebut menyebabkan perubahan percepatan fase gelombang akustik permukaan substrat piezoelektrik yang dapat dideteksi sebagai pergeseran frekuensi dari frekuensi osilator SAW. Sensor ini sensitif terhadap efek yang tidak diinginkan seperti temperatur dan kelembaban. Pada penelitian ini telah dilakukan karakterisasi divais SAW dan beberapa material polimer yang memiliki karakteristik berbeda terhadap paparan uap yang mudah menguap. Tanggapan dari lima uap organik terhadap temperatur dan kelembaban relatif diamati dari sistem sensor. Sistem instrumentasi tersebut terdiri dari sebuah deret osilator SAW terlapis polimer, sebuah osilator SAW referensi, rangkaian pengkondisi sinyal, suatu pengkonsisi awal ruang pengujian uap serta sebuah pompa udara. Tanggapan sensor menghasilkan suatu pola tertentu bagi setiap jenis uap organik mudah menguap berdasarkan perubahan frekuensi sensor. Tanggapan sensor meningkat secara linier dengan peningkatan volume injeksi uap. Tanggapan sensor semakin tidak stabil pada temperatur di atas 35? celsius. Pergeseran frekuensi meningkat seiring peningkatan tingkat kelembaban.