Development of 4-Channel Particle Counter based on bluetooth Supporting FMS
Woo-Yong Ohm, Ja-Yl Ku, Sung-Wook Park · Journal of the Institute of Electronics and Information Engineers · 2014
본 논문에서는 클린 룸 환경의 생산 설비에서 발생하는 미세입자, 온도, 습도 값을 측정하여 블루투스 통신을 통해 전송하는 4-채널 미세입자 계수기를 개발하였다. 이를 위해 광학 렌즈와 입자 검출 챔버를 설계하고, 미세 검출 회로를 다채널로 설계하여 0.3μm에서 5μm 내외의 미세 입자를 측정할 수 있도록 하였다. 그리고 측정된 값을 상시 모니터링 하기 위해 FMS(Facility Monitoring Systems) 프로그램을 개발하고, 실험을 통해 개발된 시스템이 안정적으로 동작함을 확인하였다.