Dependence of Intrinsic Defects in ZnO Films on Oxygen Fraction Studied by Positron Annihilation
彭成晓, 翁惠民, 杨晓杰, 叶邦角, 成斌, 周先意, 韩荣典 · Acta Scientiarum Naturalium Universitatis Sunyatseni · 2006
在无线电频率种的 ZnO 电影的缺点反应磁控管在在氧和氩气体之间的可变比率下面劈啪作响被使用 monoenergeticpositron 横梁技术调查了。dominate 在这些 ZnO 样品的内在的缺点是 O 空缺(V-O ) 和 Zn interstitials (Zn -- 我) 什么时候在 O-2/Ar 的氧部分喂气体不在处理房间超过 70% 。在另一方面，锌空缺在在更富有的氧环境的 ZnO Elmsfabricated 是优势的。锌空缺的集中与增加增加(2 ) 部分。为氧部分 85% ，能套住正电子的锌空缺的数字将更小。一些未知缺点能防护锌空缺，这被推测。在 ZnO 电影的锌空缺的集中在生长房间与氧部分变化，它与光致发光系列的结果一致。